仪器品牌:苏州托托科技
资产编号:S202302931
资产负责人:----
购置日期:2023-07-05
仪器价格:994600.00 万元
仪器产地:中国
仪器供应商:----
购买经办人:----
主要配件:• 电动闭环物镜切换模块，重复定位精度0.001°
• 白光光源，光谱范围420-700 nm
• 干涉物镜，平面消色差50倍 NA0.55，WD 3.4 mm
• 干涉物镜，平场消色差10倍 NA0.3，WD 7.4 mm
• 显微物镜 平场半复消色差 5X, NA0.15, WD 20 mm
• 显微物镜 平场半复消色差 20X, NA0.45, WD 3.0 mm
• 显微物镜 平场半复消色差 100X, NA0.90, WD 1 mm
3-软件模组
• 搭配测量及分析软件
• 配备数据采集及处理核心
主要参数:包含测量功能：
• 白光干涉显微3D测量
• 共聚焦显微3D测量
• 结构光超分辨成像
主要参数：
• 无接触式3D形貌测量，表面粗糙度测量
• Z轴测量精度0.1 nm
• Z轴扫描范围：100 μm（压电台）；20 mm（重载台）
• Z轴扫描最小步长3 nm
• 扫描速度25 nm/s
• XY压电步进电机，行程不小于18 mm，闭环分辨率50 nm
• 摆角台及俯仰台，调节范围±3°，调节精度0.01°
• 搭载高速采集相机
• 搭载隔振平台
仪器介绍:用于生物医学芯片的表面粗糙度检测以及3D形貌测量，从而优化芯片性能。
