高真空电阻蒸发镀膜设备

  • 仪器分类：科研仪器
  • 所属单位：校内 > 生物医学工程学院
  • 放置房间号：弘毅楼1107室
  • 仪器型号：VZZ-300
  • 仪器品牌：1
  • 购置日期：2023-09-12
  • 使用模式：项目委托,按时预约
  • 仪器状态：
仪器品牌:1
资产编号:S202303041
资产负责人:----
购置日期:2023-09-12
仪器价格:144570.00 万元
仪器产地:1
仪器供应商:----
购买经办人:----
主要配件:真空腔，基片台，膜厚检测仪，水冷机
主要参数:1、★真空腔室：直径不小于300mm，高度不小于420mm； 2、★真空系统：主泵采用分子泵，分子泵抽速不小于551L/s，前级泵抽速不小于6L/s； 3、★真空极限：≤3.0×10-5Pa； 4、抽速：分子泵完全启动，抽至≤3.0×10-4Pa≤10 min； 5、基片台尺寸：可镀112mm方形基片，或15-25 mm的方形玻璃片/硅片16-25片； 6、蒸发源及电源：不少于两组蒸发源，预留拓展至多四组蒸发源孔位；不少于1台蒸发电源，功率不小于2.3Kw； 7、★膜厚监控：采用高精度石英晶振膜厚监控仪在线监测蒸镀速率、自控膜厚，厚度精度可达0.01nm； 8、控制方式：采用PLC 手自动控制，触摸屏操作； 9、★配置衬底加热组件，最高可达到250℃。
仪器介绍:

可热蒸发镀金属膜

主要仪器管理员: 方曙(电话:18355195539)
仪器管理员: 王敏(电话:16655143193)
工作时间:09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段:0.5 小时
最大可预约时间段:168 小时
日历最小单位:0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 12小时； 普通资格用户: 12小时； 资深资格用户: 0小时
最远提前预约时间: 未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
预约保护时间:15 分钟
失约保护时间:15 分钟
断电延时时间:30 秒
最短重上电时间:5 秒
使用超时提醒:120 分钟
最大有效预约次数:5 次/天
无代价撤销预约时间:1440 分钟
用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格 需预约上机，需审核 需预约上机，需审核
普通资格 免预约上机，免审核 需预约上机，需审核
资深资格 免预约上机，免审核 免预约上机，免审核
序号 标题 文件数量 添加时间 操作

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  • 预约被占用