基本信息
- 生产厂商 1
- 资产编号 S202303041
- 资产负责人 ----
- 购置日期2023-09-12
- 仪器价格144570.00 万元
- 仪器产地1
- 仪器供应商
- 购买经办人
- 主要配件 真空腔，基片台，膜厚检测仪，水冷机
- 主要参数1、★真空腔室：直径不小于300mm，高度不小于420mm；
2、★真空系统：主泵采用分子泵，分子泵抽速不小于551L/s，前级泵抽速不小于6L/s；
3、★真空极限：≤3.0×10-5Pa；
4、抽速：分子泵完全启动，抽至≤3.0×10-4Pa≤10 min；
5、基片台尺寸：可镀112mm方形基片，或15-25 mm的方形玻璃片/硅片16-25片；
6、蒸发源及电源：不少于两组蒸发源，预留拓展至多四组蒸发源孔位；不少于1台蒸发电源，功率不小于2.3Kw；
7、★膜厚监控：采用高精度石英晶振膜厚监控仪在线监测蒸镀速率、自控膜厚，厚度精度可达0.01nm；
8、控制方式：采用PLC 手自动控制，触摸屏操作；
9、★配置衬底加热组件，最高可达到250℃。
